Éléments chauffants en graphite semi-conducteur
Jincheng Graphite, en tant que fabricant professionnel de produits en graphite, fournit des éléments chauffants en graphite semi-conducteur de haute-pureté et haute-stabilité. Ceux-ci sont spécialement conçus pour les processus à haute -température des plaquettes, les équipements sous vide et les scénarios précis de gestion thermique. Ils possèdent des avantages essentiels tels qu’une résistance aux températures élevées, une faible résistance thermique et une longue durée de vie, et sont largement utilisés dans l’industrie de fabrication de semi-conducteurs.
Points forts
Haute pureté et haute-résistance aux températures
Utilisant un substrat en graphite à l'échelle nano-, avec une teneur en carbone supérieure ou égale à 99,99 %, il peut résister à des températures supérieures à 1 500 degrés. Il convient aux processus à haute -température tels que le recuit et le frittage de plaquettes semi-conductrices, empêchant ainsi l'oxydation des matériaux ou la déformation structurelle.
Faible résistance thermique et chauffage uniforme
Grâce à un processus de frittage spécial, la conductivité thermique est améliorée jusqu'à 200-300 W/m·K, avec une résistance thermique inférieure à 0,1 K/W. Cela garantit une température uniforme à la surface de la tranche, réduisant ainsi la baisse de rendement provoquée par une surchauffe locale.
Résistance mécanique et stabilité chimique
Après-frittage à haute température, la résistance à la compression est supérieure ou égale à 40 MPa, résistante à la corrosion acide et alcaline et adaptée à l'environnement de haute propreté de la fabrication de semi-conducteurs, prolongeant ainsi la durée de vie de l'équipement.
Scénario d'application
Équipement de traitement de plaquettes-à haute température
En tant que matériau de la chambre de chauffage, il peut résister à des fluctuations extrêmes de température, garantissant ainsi la stabilité thermique de la tranche pendant des processus tels que le recuit et le dépôt.
Système de traitement thermique sous vide
Combinant les caractéristiques de faible friction des éléments chauffants en graphite, il convient aux environnements sous vide poussé-pour un chauffage à haute-température, réduisant ainsi la contamination causée par l'adsorption des gaz.
Équipement de pressage à chaud pour emballage de semi-conducteurs
En obtenant un chauffage rapide et uniforme grâce à une conductivité thermique élevée, il améliore l’efficacité des processus d’emballage et réduit les coûts de consommation d’énergie.
Paramètres techniques
| Teneur en carbone | Supérieur ou égal à 99,99 % |
| Conductivité thermique | 200 - 300 W/m·K (conditions de test : 25 degrés) |
| Résistance à la compression | Supérieur ou égal à 40 MPa |
| Plage de température de fonctionnement | -200 degrés à 1500 degrés |
| Traitement de surface | Polissage / Revêtement (personnalisable) |
Assurance qualité du graphite Jincheng
Basé sur 20 ans d'expérience en recherche sur les matériaux en graphite, Jincheng Graphite adopte une technologie de frittage brevetée et une technologie nano-composite pour garantir la stabilité des éléments chauffants en graphite semi-conducteur dans des conditions extrêmes. Certifié par le système qualité ISO 9001 et les normes aérospatiales AS9100, il répond aux exigences de scénarios de haute propreté et de haute fiabilité.
Engagement de coopération
Jincheng Graphite propose des solutions d'éléments chauffants personnalisées, prenant en charge à la fois la production d'essais en petits lots-et la production de masse à grande échelle-, garantissant un cycle de livraison court et des coûts contrôlables. Grâce à son réseau logistique mondial et à son équipe de service locale, elle offre aux clients des services intégrés efficaces et fiables pour les éléments chauffants en graphite, contribuant ainsi à la mise à niveau des processus de fabrication de semi-conducteurs.
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