Électrodes de graphite pour la fabrication de circuits intégrés
Jincheng Graphite, en tant que fabricant professionnel de produits en graphite, fournit des électrodes en graphite à haute conductivité et haute stabilité thermique pour la fabrication de circuits intégrés. Ces électrodes sont spécialement conçues pour les processus clés tels que la lithographie, la gravure et le dépôt, avec des capacités de traitement de haute précision, une longue durée de vie et une faible contrainte thermique. Ils sont largement utilisés dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs haut de gamme.
Avantage de base
Haute conductivité et stabilité thermique
En utilisant des substrats en graphite de haute pureté et en combinant une technologie de traitement de surface à l'échelle nanométrique, la conductivité atteint une valeur supérieure ou égale à 10^5 S/m et le coefficient de dilatation thermique est inférieur ou égal à 3,5 × 10⁻⁶/degré. Cela garantit la stabilité structurelle pendant les processus à haute -température et empêche la déformation thermique de la plaquette.
Compatibilité de traitement de précision
Grâce à la découpe laser, à la gravure au plasma, etc., il prend en charge des épaisseurs d'électrode allant de 0,05 à 3 mm et des géométries complexes personnalisées, adaptées aux équipements de traitement de plaquettes pour les processus avancés de 5 nm et moins, répondant aux exigences d'alignement de haute-précision.
Résistance à la corrosion et résistance à l'usure
La surface subit un traitement de passivation chimique. Il passe des tests de corrosion acide forts avec HF, HNO₃, etc. et peut résister à des températures allant jusqu'à 1 500 degrés ou plus, prolongeant considérablement la durée de vie des électrodes et réduisant le risque d'interruption du processus.
Scénario d'application
Les électrodes de graphite utilisées dans la fabrication de circuits intégrés sont largement utilisées dans des processus clés tels que la gravure au plasma (pour le traitement de tranchées profondes sub-microniques), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Leur propriété de faible contrainte thermique peut prévenir efficacement les défauts causés par une dilatation thermique inégale des tranches, augmentant le rendement des puces haut de gamme à plus de 99,8 % et contribuant à la miniaturisation et à l'intégration à haute densité des processus de fabrication de puces.
Spécifications techniques
| Conductivité électrique | Supérieur ou égal à 10^5 S/m (à température ambiante) |
| Coefficient de dilatation thermique | Inférieur ou égal à 3,5 × 10⁻⁶ / degré |
| Rugosité de la surface | Ra Inférieur ou égal à 0,2 μm |
| Résistance à la corrosion | Tests réussis dans des environnements d'acides forts, d'alcalis forts et de plasma |
| Résistance mécanique | Résistance à la compression supérieure ou égale à 120 MPa |
Assurance qualité du graphite Jincheng
Jincheng Graphite est profondément impliqué dans le domaine des produits en graphite depuis 18 ans. Elle possède ses propres droits de propriété intellectuelle indépendants pour la technologie de frittage à basse température et la certification du système de gestion de la qualité ISO9001. Il contrôle strictement l'ensemble du processus depuis la purification des matières premières (pureté supérieure ou égale à 99,99 %), le moulage et le pressage jusqu'au frittage à haute température pour garantir que les produits répondent aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs en matière de propreté (grade ISO 4), de stabilité thermique (± 0,5 degré) et de planéité de la surface (inférieure ou égale à 0,1 μm).
Engagement de coopération
Jincheng Graphite propose des tests d'échantillons gratuits, une réponse technique dans un délai de 72-heures et une assistance pour la production d'essais à petite échelle-. Il peut personnaliser les dimensions des électrodes, les paramètres de performances conductrices et les plans de traitement de surface en fonction des exigences du processus du client. Elle s'engage à fournir des solutions d'électrodes en graphite hautes performances et fiables aux entreprises mondiales de semi-conducteurs. Grâce à une technologie professionnelle, une livraison rapide et une innovation continue, elle est devenue un partenaire essentiel dans le domaine de la gestion thermique et du traitement de précision dans la fabrication de circuits intégrés.
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