Support de disque en graphite

En nous concentrant sur les domaines haut de gamme tels que les semi-conducteurs, les circuits intégrés et la fabrication de puces, nous développons des plaques porteuses en graphite de haute-pureté, haute-planéité et haute-stabilité. Spécialement conçus pour les processus clés des tranches de 2 à 12 pouces, notamment le dépôt, la gravure, le recuit et l'implantation ionique, ce sont des composants essentiels garantissant la précision du traitement des tranches et le taux de rendement.​

✅ Pureté extrême et faible impureté : fabriqué à partir de coke d'aiguille de haute-pureté, traité par graphitisation à haute température de 3 000 degrés-, teneur en cendres inférieure ou égale à 20 ppm, éliminant la contamination par impuretés métalliques des plaquettes et garantissant la stabilité des performances des puces ;​

✅ Ultra-Précision de planéité élevée : grâce à l'usinage et au meulage CNC de précision, erreur de planéité inférieure ou égale à ± 0,005 mm, rugosité de surface Ra inférieure ou égale à 0,2 μm, garantissant une force uniforme et une conduction thermique des plaquettes ;​

est de 50 KVA.

✅ Forte résistance à l'oxydation et à la corrosion : adoption d'une technologie de revêtement céramique spéciale sur la surface, résistante à des températures élevées de 1 200 degrés et à la corrosion par plasma, durée de vie 4 à 6 fois plus longue que les plaques de graphite ordinaires ;​

✅ Adaptation personnalisée : prend en charge la personnalisation de différentes tailles de plaquettes (2/4/6/8/12 pouces), la répartition des trous et les spécifications d'épaisseur, compatible avec divers équipements semi-conducteurs tels que CVD, PVD et machines de gravure.​

Adhérant aux normes strictes de l'industrie des semi-conducteurs, nous mettons en œuvre un contrôle de qualité raffiné tout au long du processus, depuis la purification des matières premières, le processus de moulage jusqu'à l'inspection du produit fini. Nous fournissons des solutions de plaques de support en graphite fiables et efficaces aux entreprises mondiales de semi-conducteurs, contribuant ainsi à améliorer le rendement de fabrication des puces et l'efficacité de la production.