L’industrie des semi-conducteurs est celle qui impose les exigences les plus strictes en matière de pureté du graphite parmi tous les secteurs industriels. Pendant le traitement thermique des tranches, toute précipitation d'impuretés entraînera une contamination de la tranche, entraînant un gaspillage massif de puces. Pour les processus avancés de semi-conducteurs, la teneur en cendres de graphite est généralement requise en dessous de 5 ppm. Le graphite isostatique à grains fins-est la principale matière première, grâce à une microstructure uniforme, une faible perte de particules et une excellente usinabilité.
Les pièces en graphite largement utilisées dans les équipements semi-conducteurs comprennent les suscepteurs en graphite, les éléments chauffants en graphite, les cylindres de protection thermique, les supports en graphite portant des tranches, les tubes guides en graphite et les bagues d'étanchéité en graphite. Les conditions de travail diffèrent grandement selon les types d’équipements. Dans les fours d'extraction de silicium monocristallin, les composants en graphite sont confrontés à l'érosion de la vapeur de silicium ; dans les fours de croissance SiC PVT, le graphite doit résister à des températures ultra élevées dépassant 2 200 degrés ; dans les fours d'épitaxie et de diffusion, les composants en graphite sont en contact prolongé avec les gaz de traitement corrosifs.
Le revêtement de surface est devenu une configuration standard pour de nombreux composants semi-conducteurs en graphite. Le revêtement de carbone pyrolytique et le revêtement SiC forment une couche protectrice dense sur la surface du graphite, bloquant la perte de particules de graphite et empêchant la réaction entre le graphite et le gaz de traitement, prolongeant ainsi considérablement la durée de vie des composants. Dans le même temps, le traitement du revêtement impose des exigences plus élevées en matière de précision d’usinage du substrat en graphite, de rugosité de surface et de tolérance dimensionnelle.
La tendance au développement de-plaquettes de grande taille pousse à l'amélioration de la taille des composants en graphite. À mesure que les tranches de 300 mm deviennent courantes et que la technologie des tranches de 450 mm se développe, les composants monolithiques à grande zone chaude en graphite sont de plus en plus adoptés pour réduire les écarts d'assemblage et améliorer l'uniformité de la température. La fabrication d'ébauches de graphite isostatique de grande taille-et la réalisation d'un usinage de précision sont des défis techniques majeurs pour les fabricants de graphite.
Huixian Jincheng Abrasive & Graphite Mold Factory fournit un service d'usinage de précision pour les composants en graphite de qualité semi-conducteur-. Fondée en 1984, l'entreprise traite des pièces finies en graphite à partir d'ébauches de graphite isostatique de haute pureté importées. Équipé d'un équipement de traitement du graphite CNC à grande vitesse, Jincheng Graphite réalise un usinage de haute -précision de montages complexes en graphite, de boucliers thermiques et de composants de support pour les équipements thermiques à semi-conducteurs. L'usine peut coopérer avec les clients pour effectuer un prétraitement-tel que le nettoyage et le polissage avant le revêtement. Des mesures strictes des coordonnées et une inspection de l'apparence sont mises en œuvre pour chaque lot de produits afin de garantir la stabilité dimensionnelle. Bien que Jincheng Graphite se concentre principalement sur le traitement mécanique des composants en graphite, elle entretient une communication technique avec les fournisseurs de revêtements afin de fournir des pièces finies pleinement qualifiées aux fabricants d'équipements semi-conducteurs.
L'expansion de la capacité mondiale des semi-conducteurs entraîne une croissance continue de la demande de consommables en graphite hautes-performances. La localisation des équipements semi-conducteurs offre d’énormes opportunités de marché aux entreprises nationales de transformation du graphite. Jincheng Graphite améliorera continuellement la capacité d'usinage de précision et le système de contrôle qualité, pour soutenir la construction de la chaîne d'approvisionnement de pièces en graphite pour équipements thermiques à semi-conducteurs.
